Рассматриваются актуальные вопросы создания микроэлектронной аппаратуры высокой интеграции, которая становится основным средством всех промышленных и бытовых встроенных систем управления и обработки информации. Приводятся данные, характеризующие эффективность повышения степени интеграции радиоэлектронных средств. Показано, что в результате микроминиатюризации достигается выигрыш в материалоемкости, энергопотреблении, стоимости, повышаются надежность и быстродействие, расширяется диапазон рабочих частот. Книга может служить справочным пособием и как обзор последних зарубежных публикаций. Для инженерно-технических работников, занятых проектированием и производством МЭА. Может быть полезна аспирантам и студентам вузов, специализирующимся в конструировании МЭА.