Словарь содержит около 10 тыс. терминов по основным разделам: конструкция и технология тонко- и толстопленочных микросхем и полупроводниковых интегральных схем, технологические процессы и оборудование для микроэлектроники, испытание и контроль полупроводниковых приборов и др. В конце словаря даны указатели русских, немецких, французских и нидерландских терминов. Словарь предназначен для переводчиков, инженерно-технических работников, студентов, аспирантов и преподавателей.